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Anwendungen

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Plasma/Gasentladung
Beschichtung, Verdampfung, Sputtern, kaltes Plasma, Korona-Plasma, Zündung, Hipims
Product ranges :
SR bis zu 150kV Leistung bis zu 2kW
Dünnschichtabscheidung

Plasma, Elektronenstrahl, Physikalische Gasphasenabscheidung

Product ranges :
SR bis zu 150kV Leistung bis zu 2kWSR bis zu 16kV Leistung bis zu 2kW
Beschichtung
Glas, Plasma, Elektronenstrahl, physikalische Gasphasenabscheidung, industrielle Beschichtung
Product ranges :
SR bis zu 150kV Leistung bis zu 2kWSR bis zu 16kV Leistung bis zu 2kWSR bis zu 150kV Leistung bis zu 40kW
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