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主要规格
阴极电压:
高达60kV
阴极功率:
6kW, 15kW, 20kW, 80kW+
极性:
负面的
上升时间(10-90%):
< 3ms
纹波+噪音:
0.2% RMS
远程接口:
0-10V特定接口
灯丝电压:
高达20V
灯丝电流:
高达15A
Wehnelt/Bias 电压:
2kV、3kV或3.8kV
Wehnelt/Bias 权力:
5W
轰击电压:
1kV、1.7kV或3kV
轰击电流:
高达80mA
这种多源电源是为电子束应用设计的。
阴极电源提供了一个快速的上升时间和先进的电弧管理功能,以确保光束的连续性。客户可以选择各种选项来设置他们的设备,使电源适应他们的工艺。