主要规格
阴极电压:
高达60kV
阴极功率:
6kW, 15kW, 20kW, 80kW+
极性:
负面的
上升时间(10-90%):
< 3ms
纹波+噪音:
0.2% RMS
远程接口:
0-10V特定接口
灯丝电压:
高达20V
灯丝电流:
高达15A
Wehnelt/Bias 电压:
2kV、3kV或3.8kV
Wehnelt/Bias 权力:
5W
轰击电压:
1kV、1.7kV或3kV
轰击电流:
高达80mA
这种多源电源是为电子束应用设计的。
阴极电源提供了一个快速的上升时间和先进的电弧管理功能,以确保光束的连续性。客户可以选择各种选项来设置他们的设备,使电源适应他们的工艺。
辅助电源(灯丝、Wehnelt/Bias和/或Bombardments)与阴极电源集成在同一个槽中。所有的辅助电源都在浮动的阴极输出电压下工作。
所提供的设备包括一条同轴的可拆卸高压电缆(3米),两端各安装一个连接器。该连接器是一个多针连接器,为所有电源提供一个输出。